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Success Stories Recentes
Contact : Jean-Philippe Polizzi (jean-philippe.polizzi@cea.fr)
Plus intelligents et moins chers…Vive le boom des MEMS!
Les capteurs à base de silicium (MEMS) ne cessent de se développer dans le secteur automobile mais aussi dans l’électronique grand public. Expert en communication RF, récupération et gestion d’énergie, le Leti poursuit ses recherches et ouvre de nouvelles perspectives. Le point sur l’état actuel du marché des micro-systèmes…
L’automobile reste un des principaux débouchés : accéléromètres pour les airbags, capteurs de pression pneumatique… La combinaison de plusieurs capteurs donne naissance à des fonctions avancées de sécurité, démocratisées grâce à la miniaturisation et la baisse des coûts.
Les MEMS se déploient dans l’électronique grand public (console de jeu Wii, iPhone…) et les consommateurs adhèrent au mouvement-commande.
Des capteurs toujours plus sophistiqués et des réseaux autonomes font leur apparition dans des applications militaires ou médicales (communication, récupération et gestion de l’énergie).
Le Leti : à chaque problème, une solution.
Valider et suivre la production des encapsulations.
Pour protéger les capteurs MEMS de leur environnement tout en restant ouverts aux paramètres à mesurer, le Leti a développé avec Freescale un détecteur d’humidité très simple haute sensibilité FHUSE (1 ppm) basé sur la variation de capacité d’un diélectrique de type SiOC.
Détecter la rotation et l’accélération des véhicules.
Le Leti travaille au développement d’un gyromètre 3D sur une seule puce utilisant des électrodes dans le plan et hors du plan et une couche de SOI épais. Cette solution permettra de contrôler la trajectoire des véhicules, de réduire les coûts et d’obtenir un packaging simplifié grâce à l’incorporation à terme des deux mesures d’accélération et de rotation sur une seule puce pour le contrôle de la trajectoire des véhicules.
Réduire le volume des MEMS pour réduire leur coût.
Le Leti a réussi à combiner les technologies MEMS et NEMS (nano electromechanical systems) – alliance d’un film épais pour la masse inertielle et d’un film plus fin pour le résonateur. Résultat : un composant plus petit pour une résolution comparable et parfaitement adaptable à la réalisation de composants multi axes (Ex : gyromètres 3D).
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