Leti, l'innovation
au service de l'industrie
Jean-Christophe Gabriel (jean-christophe.gabriel@cea.fr)
Après 25 ans d’innovations et de développement de dispositifs pour systèmes microélectromécaniques à échelle microscopique (MEMS) pour l'automobile, l'électronique et le domaine biomédical, le Leti lance une nouvelle génération de systèmes microélectromécaniques à échelle nanoscopique encore plus petits (NEMS).
Le Leti a accéléré son programme NEMS en 2007 en s'associant avec le California Institute of Technology pour former l'Alliance for Nanosystems VLSI (intégration à très grande échelle). L'année dernière, l'alliance a attiré cinq partenaires industriels supplémentaires– notamment Areva, Biomérieux, Leco et Total – comme sponsors supplémentaires pour le programme.
Les chercheurs de l'Alliance se concentrent initialement sur le développement de capteurs à échelle nanoscopique qui peuvent détecter des traces infimes de gaz et de liquide. Des spectromètres de masse NEMS ultrasensibles sont également en cours de développement ; ils peuvent mesurer la masse d’une molécule unique
Les capteurs NEMS pourraient aider à détecter des agents chimiques et autres substances dangereuses, et même offrir aux médecins de nouveaux outils de diagnostic non-invasifs. Les chercheurs envisagent des futurs capteurs qui pourraient, par exemple, alerter les médecins dès les premiers signes de cancer du poumon en détectant les marqueurs chimiques associés à la maladie dans le souffle du patient.
L'association unique de l'expertise du LETI en matière de conception, de flux de processus, de manipulation des matériaux et de fabrication, avec ses installations de production et d'essais de pointe ont fait de ce laboratoire un leader mondial dans le domaine de la production de NEMS à un niveau VLSI.
Pour en savoir plus sur le nanomonde :
vidéo qui présente les principales propriétés physiques et chimiques de composants à l'échelle nanométrique
Voir aussi :
"Vers le nanomonde", un site didactique édité par Minatec
Dossier d'information sur les nanotechnologies édité par le CEA
En 2009, le Leti a obtenu une subvention prestigieuse du Conseil Européen pour la Recherche afin de valider plusieurs approches de conception des nanosystèmes multiphysiques VLSI, notamment les composants chimiques, gazeux, mécaniques (NEMS) et électriques.
Nous avons également inauguré notre banc d'essai de recherche de traces de gaz entièrement automatisé, avec spectrométrie de masse chromatographique des gaz, permettant des analyses très précises à un niveau de l’ordre de la partie par milliard.