Francais | English



Accueil
Découvrez le Leti
Qui sommes-nous ?
L'environnement du Leti
La Recherche au Leti
Domaines applicatifs
Composants intégrés
Technologies de base
Les plateformes d'innovation
Nos partenaires
Documentation
Livres
Travaillons ensemble
Développez votre business
Les plateformes d'innovation
Success stories
Rejoignez-nous
Etudiants, bienvenue au Leti
Travaillez au Leti
A la découverte des micro et nano technologies
Les actualités
Presse
Communiqués de presse
Partenaire presse
Médiathèque

Leti, l'innovation
au service de l'industrie


Accueil

>

Découvrez le Leti

>

La Recherche au Leti

>

Technologies de base

> Substrats innovants

Substrats innovants


Imprimer Envoyer par email
Substrats avancés Substrats avancés

Contact : Laurent Clavelier (laurent.clavelier@cea.fr)

Une alliance qui va de SOI

SOITEC est devenu le leader mondial des substrats Silicium sur Isolant (SOI). Cette ancienne start up du Leti développe avec le laboratoire une large gamme de substrats innovants dont les domaines d’application vont bien au-delà des applications More MOORE.

Réduction des coûts liés aux substrats de Germanium :

-collaboration du Leti et SOITEC sur la base du procédé Smart CutTM,
-mise au point d’un nouveau concept de substrat de nucléation pour l’épitaxie de matériaux III-V,
-innovation économique reposant sur la réutilisation du substrat de Germanium,
-approche compatible avec les récents développements des structures métamorphiques inversées.


Réalisation des fonctions de filtrage :

-utilisation courante de couches minces de piézoélectrique déposées
-mise au point, à partir du procédé Smart CutTM, d’un substrat de Niobate de lithium monocristallin sur métal sur isolant.
-excellentes performances des filtres très large bande élaborés sur ces substrats.


Augmentation des vitesses de calcul limitée par l’accroissement de la puissance dissipée due à l’augmentation de la température des circuits :

-intégration de couches de diamant comme isolant enterré dans les substrats SOI
-amélioration de l’évacuation de la chaleur au niveau du substrat à partir des caractéristiques de conduction thermique du diamant permettant d’augmenter la fréquence de fonctionnement des circuits


Une expertise unique dans le monde des R&D :

-niveau d’équipements et de compétences rare, permettant la réalisation de substrats à base de matériaux innovants avec un niveau de maturité avancé
-techniques les plus évoluées d’implantation ionique, de nettoyage, de collage, ou d’amincissement
-nombre grandissant de substrats développés par le Leti exploités au niveau commercial.

De nouveaux développements à l’étude pour le Leti

Programme pluriannuel avec SOITEC : une équipe de 50 personnes travaille sur le développement de nouveaux types de substrats pour accélérer leur mise sur le marché.
-Mise au point de substrats SOI à oxyde enterrés ultra minces appliqués à la réalisation de transistors de nœud technologiques avancés
-Prototypage de substrats SOLES (Silicon-On-Lattice-Engineered-Substrates) utilisés pour la fabrication de circuits hybrides radio Fréquence de type CMOS sur SOI et HBT sur III-V.


Collaboration avec ST Microelectronics : développement d’une technologie de collage direct cuivre-cuivre pour les applications 3D.
-Collage conducteur mis en œuvre sans application de pression, à basse température
-Approche économique pertinente pour les technologies du 3D et du packaging.


Maîtrise du Leti : collage direct et amincissement sur cavités pour la réalisation de MEMS.
-Fabrication de membranes mobiles en Silicium monocristallin
-Réalisation d’accéléromètres ultrasensibles.

VOIR AUSSI :

Lithographie  |  Matériaux pour la microélectronique  |  Composants de base
Nanotechnologies  |  Intégration 3D  |  Packaging et fiabilité
Technologies capteurs  |  Microfluidique  |  Plasmonique
  • Contact
  • Plan du site
  • Mentions Légales
  • MINATEC
  • CEA