Leti, l'innovation
au service de l'industrie
Contact : Laurent Clavelier (laurent.clavelier@cea.fr)
SOITEC est devenu le leader mondial des substrats Silicium sur Isolant (SOI). Cette ancienne start up du Leti développe avec le laboratoire une large gamme de substrats innovants dont les domaines d’application vont bien au-delà des applications More MOORE.
-collaboration du Leti et SOITEC sur la base du procédé Smart CutTM,
-mise au point d’un nouveau concept de substrat de nucléation pour l’épitaxie de matériaux III-V,
-innovation économique reposant sur la réutilisation du substrat de Germanium,
-approche compatible avec les récents développements des structures métamorphiques inversées.
-utilisation courante de couches minces de piézoélectrique déposées
-mise au point, à partir du procédé Smart CutTM, d’un substrat de Niobate de lithium monocristallin sur métal sur isolant.
-excellentes performances des filtres très large bande élaborés sur ces substrats.
-intégration de couches de diamant comme isolant enterré dans les substrats SOI
-amélioration de l’évacuation de la chaleur au niveau du substrat à partir des caractéristiques de conduction thermique du diamant permettant d’augmenter la fréquence de fonctionnement des circuits
-niveau d’équipements et de compétences rare, permettant la réalisation de substrats à base de matériaux innovants avec un niveau de maturité avancé
-techniques les plus évoluées d’implantation ionique, de nettoyage, de collage, ou d’amincissement
-nombre grandissant de substrats développés par le Leti exploités au niveau commercial.
Programme pluriannuel avec SOITEC : une équipe de 50 personnes travaille sur le développement de nouveaux types de substrats pour accélérer leur mise sur le marché.
-Mise au point de substrats SOI à oxyde enterrés ultra minces appliqués à la réalisation de transistors de nœud technologiques avancés
-Prototypage de substrats SOLES (Silicon-On-Lattice-Engineered-Substrates) utilisés pour la fabrication de circuits hybrides radio Fréquence de type CMOS sur SOI et HBT sur III-V.
Collaboration avec ST Microelectronics : développement d’une technologie de collage direct cuivre-cuivre pour les applications 3D.
-Collage conducteur mis en œuvre sans application de pression, à basse température
-Approche économique pertinente pour les technologies du 3D et du packaging.
Maîtrise du Leti : collage direct et amincissement sur cavités pour la réalisation de MEMS.
-Fabrication de membranes mobiles en Silicium monocristallin
-Réalisation d’accéléromètres ultrasensibles.