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Contact : Fabrice Geiger (fabrice.geiger@cea.fr)
L’innovation en tête !
Partie intégrante d’un réseau national de plateformes de haute technologie, les plateformes technologiques MOS et MEMS fédèrent les moyens du Leti pour mener les activités de recherche appliquée dans le domaine des micro et nanotechnologies.
Des plateformes au cœur du développement de processus innovants
Deux plateformes technologiques du Leti créent une passerelle entre la recherche amont et le développement de nouvelles applications en micro et nanotechnologie.
La plateforme MOS 200/300 réalise le traitement des tranches CMOS 200 et 300 mm, qui peut s’appliquer à la fois à des dispositifs semiconducteurs et à des microsystèmes. La plateforme MEMS200 produit des systèmes microélectromécaniques (MEMS) autres que CMOS. Les deux concentrent leurs efforts dans le domaine « More than Moore » afin de développer de nouvelles capacités pour les semiconducteurs. La plateforme MOS élabore en parallèle une technologie de puce 3D sur 300mm.
Une plateforme ouverte aux structures universitaires et industrielles ainsi qu’à toutes les autres plateformes de haute technologie.
Elle accueille également des chercheurs des laboratoires appliqués pour leurs recherches (Ex : Liten, CNRS/LTM).
En 2010, les deux plateformes ont été reliées par un système innovant de salle blanche mobile, ce qui a permis une plus grande flexibilité et un traitement plus rapide des lots. À elles deux, ces plateformes composent un espace de 6 500 m² de salle blanche et disposent de 500 équipements et d’un personnel de plus de 450 personnes.
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